发明人:罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩,理查德·L
专利权人:卡文迪什动力有限公司
公开日:2018-07-31
公开号:CN108352275A
专利类别:发明公开
下载地址:见页末
摘要:本公开总体涉及用于制造可以切换大电功率的MEMS开关的机构。采用额外的着陆电极,其提供沿着MEMS器件的增加的电接触,使得在接触时移除靠近最热点的MEMS结构中的电流和热量。
内容未完全展示,请下载附件查看