array(2) { [0]=> string(11) "高功率RF" [1]=> string(22) "MEMS开关的热管理" }
本公开总体涉及用于制造可以切换大电功率的MEMS开关的机构。采用额外的着陆电极,其提供沿着MEMS器件的增加的电接触,使得在接触时移除靠近最热