发明人：A·维诺戈帕,M·丹尼森,L·哥伦布,S
专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
公开日：2016-04-06
公开号：CN105470217A
专利类别：发明公开
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摘要：本发明涉及用于BEOL热管理的散热器的集成。一种微电子装置(100),包括组件(104)的电极(114)和电极(116)上的散热器层(118)和散热器层(120)以及散热器层(118)和散热器层(120)上的金属互连件(122)和金属互连件(124)。散热器层(118)和散热器层(120)被布置在半导体装置(100)的基板(102)的顶表面上方。散热器层(118)和散热器层(120)的厚度为100纳米至3微米,具有至少150瓦 (米·开尔文)的面向热导率以及小于100微欧姆·厘米的电阻率。
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