TSV转接板等效热导率预测方法及系统

作者: 何虎,肖承地,李军辉,曹森,王彦,陈卓, CNPIM 2017年04月19日

发明人:何虎,肖承地,李军辉,曹森,王彦,陈卓,
专利权人:中南大学
公开日:2017-04-19
公开号:CN106570211A
专利类别:发明公开
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摘要:本发明涉及微电子封装与热管理计算领域,公开了一种TSV转接板等效热导率预测方法及系统,为解决3D集成封装芯片热管理问题提供基础支持。该方法包括:构建考虑有介电层的TSV转接板垂直方向上的二维等效模型;根据组分在模型中的体积占比不变的原则,分别计算TSV孔中填充物及介电层在垂直方向二维等效模型中的等效参数;根据所述二维等效模型中的等效参数及硅、介电层及填充物的热导率仿真得出与垂直方向热流相垂直的两平行截面之间的平均温度差;根据所述平均温度差、两平行截面的距离及热流参数计算得出TSV转接板垂直方向的等效热导率。

一种TSV转接板等效热导率预测方法,其特征在于,包括:构建考虑有介电层的TSV转接板垂直方向上的二维等效模型;根据组分在模型中的体积占比不变的原则,分别计算TSV孔中填充物及介电层在垂直方向二维等效模型中的等效参数;根据所述二维等效模型中的等效参数及硅、介电层及填充物的热导率仿真得出与垂直方向热流相垂直的两平行截面之间的平均温度差;根据所述平均温度差、两平行截面的距离及热流参数计算得出TSV转接板垂直方向的等效热导率。
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