一种高导热石墨膜表面金属涂层的制备方法

作者: 欧阳求保,黄宇,郭兴伍,郭嘉成,欧阳杰武 CNPIM 2016年06月01日

发明人:欧阳求保,黄宇,郭兴伍,郭嘉成,欧阳杰武
专利权人:上海交通大学
公开日:2016-06-01
公开号:CN105624608A
专利类别:发明公开
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摘要:本发明提供了一种高导热石墨膜表面金属涂层的制备方法,所述方法首先将石墨膜用酒精超声清洗干净,然后将石墨膜置于PVD设备中,利用氩离子轰击清洗石墨膜表面,最后通过调控磁场电流、偏压、氩气流量、镀膜温度以及镀膜时间对石墨膜进行金属涂覆处理。本发明所述方法具有涂覆完全且均匀、高效、涂层厚度可控以及结合良好等特点;所制备的高导热金属涂层石墨膜可直接用于热管理领域,也可以用于制备热管理用复合材料。

一种高导热石墨膜表面金属涂层的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:第一步,石墨膜前处理:将石墨膜用酒精超声清洗干净以去除石墨膜表面的物理吸附物,然后将酒精清洗后的石墨膜置于PVD设备中,将PVD设备腔体抽真空至6×10#3Pa以下,调节氩气流量、偏压对石墨膜进行氩离子轰击清洗以去除石墨膜表面的化学吸附物;第二步,石墨膜涂层处理:调控PVD设备控制PVD镀膜条件,包括磁场电流、偏压、氩气流量、镀膜温度以及镀膜时间,对石墨膜进行金属涂覆处理。
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