发明人：卡尔·费尔班克,马克·费舍尔
专利权人：道康宁公司
公开日：2014-02-19
公开号：CN103588984A
专利类别：发明公开
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摘要：一种自由立膜,包括：i 基体层,其具有相对的表面,和ii 纳米棒阵列,其中纳米棒定向的穿过基体层并从基体层的一个或两个表面伸出至少1微米的距离。一种制备自由立膜的方法,包括：(a)在基底上提供纳米棒阵列,任选的,(b)用牺牲层渗透该阵列；(c)用基体层渗透该阵列,由此产生渗透的阵列；任选的,(d)当步骤(b)存在时,除去牺牲层,保留基体层；和(e)将渗透的阵列从基底平面上移除。根据所选用纳米棒的类型和密度,自由立膜可以用于作为滤光片、ACF、或TIM。
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