发明人：卡尔·费尔班克,马克·费舍尔
专利权人：道康宁公司
公开日：2010-01-27
公开号：CN101636436B
专利类别：发明公开
下载地址：见页末
摘要：一种自由立膜,包括：i 基体层,其具有相对的表面,和ii 纳米棒 阵列,其中纳米棒定向的穿过基体层并从基体层的一个或两个表面伸出至 少1微米的距离。一种制备自由立膜的方法,包括：(a)在基底上提供纳米 棒阵列,任选的,(b)用牺牲层渗透该阵列；(c)用基体层渗透该阵列,由 此产生渗透的阵列；任选的,(d)当步骤(b)存在时,除去牺牲层,保留基 体层；和(e)将渗透的阵列从基底平面上移除。根据所选用纳米棒的类型和 密度,自由立膜可以用于作为滤光片、ACF、或TIM。
内容未完全展示，请下载附件查看