发明人:T·鲍尔,G·格兰特,D·迪米特
专利权人:海克斯康测量技术有限公司
公开日:2020-08-14
公开号:CN111542728A
专利类别:发明公开
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摘要:光学扫描装置上的热变化会影响由该装置进行的测量。这里提出了各种方法来控制装置的温度并补偿装置的温度变化。
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