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一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法
本发明公开了一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法,属于元器件技术领域,其步骤包括:制作牺牲材料预制块粗坯和支撑材料预制块粗坯,加工复合
2019年05月31日
技术支持:CNPIM.COM