array(2) { [0]=> string(21) "美国英特尔公司" [1]=> string(34) "作者:M·A·阿卜杜勒莫努姆" }
一种用微机电系统(MEMS)谐振器来监测平台温度的方法和装置。在相对低成本的柔性聚合物衬底而非硅衬底上制造谐振器提供了机械灵活性以及关于传