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基板支撑组件包括陶瓷定位盘与导热基底,该导热基底具有与陶瓷定位盘的下表面接合的上表面。该导热基底包括数个热区与数个热隔离器,该数个热隔

2015年12月02日

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2018年09月18日

基板支撑组件及导热基底

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2017年12月29日

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2020年11月27日

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