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工件保持器包括定位盘,该定位盘具有圆柱轴、该圆柱轴周围的半径及厚度。该定位盘的至少顶面是实质平面的,且该定位盘限定一或更多个断热器。各
一种工件固持器,包括:定位盘;第一及第二加热装置,与该定位盘的相应的内及外部分热连通;及热沉,与该定位盘热连通。该第一及第二加热装置可独