本实用新型公开了一种用于制备颗粒的反应装置,其涉及气相到固相沉积制备颗粒技术领域,所述用于制备颗粒的反应装置包括:具有原料气体入口、气
本发明公开了一种用于制备颗粒的反应装置及制备颗粒的方法,其涉及气相到固相沉积制备颗粒技术领域,所述用于制备颗粒的反应装置包括:具有原料