本发明公开了一种基于拉曼光谱测试技术的半导体薄膜热导率分析方法,包括:待测薄膜样品的微桥结构设计及制备;薄膜材料的拉曼谱峰随温度偏移系
本发明公开了一种基于红外热成像法的薄膜热导率分析方法,其原理是通过设计构建待测薄膜的微桥热传输结构,基于红外热成像技术实现对温度分布的