array(2) { [0]=> string(36) "四川省西南应用磁学研究所" [1]=> string(13) "作者:彭梓" }
本发明公开了一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法,属于元器件技术领域,其步骤包括:制作牺牲材料预制块粗坯和支撑材料预制块粗坯,加工复合