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具有III–V族增益材料和集成散热器的电光器件
具有两个晶片组件的电光器件及其制造方法。第一晶片组件包括硅衬底及其顶部上的覆层。覆层包括在其中形成的空腔,其中该空腔填充有电绝缘的散热
2019年12月13日
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