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一种柔性压力温度集成薄膜阵列传感器敏感元及制备方法
本发明公开了一种柔性压力温度集成薄膜阵列传感器敏感元及制备方法,利用柔性铁电薄膜具有的压电效应与热释电效应实现压力传感功能与温度传感功
2019年11月08日
一种柔性压力温度集成薄膜阵列传感器敏感元及制备方法
本发明公开了一种柔性压力温度集成薄膜阵列传感器敏感元及制备方法,利用柔性铁电薄膜具有的压电效应与热释电效应实现压力传感功能与温度传感功
2018年12月21日
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